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產(chǎn)品詳情
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SJ6000激光干涉儀
產(chǎn)品參數(shù):
產(chǎn)品型號(hào):SJ6000
產(chǎn)品名稱(chēng):SJ6000激光干涉儀
測(cè)量方式:?jiǎn)晤l
穩(wěn)頻精度:±0.05ppm
測(cè)量精度:±0.5ppm(0-40)℃
線性測(cè)量距離:(0-80)m
測(cè)量分辨率:1nm
動(dòng)態(tài)采集頻率:50KHz
工作溫度范圍:(0-40)℃
環(huán)境溫度范圍:(0-40)℃,環(huán)境濕度:0-95%
主要特點(diǎn):應(yīng)用范圍廣、測(cè)量精度高、操作方便
激光干涉儀是以光波為載體,以光波波長(zhǎng)為單位的高精度、高靈敏度檢測(cè)設(shè)備,在高端制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。
SJ6000激光干涉儀采用美國(guó)進(jìn)口高穩(wěn)定氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),實(shí)現(xiàn)快速(約6分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗干擾能力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光輸出;采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊、高精度激光干涉信號(hào)處理系統(tǒng)、高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù),結(jié)合線性鏡組能實(shí)現(xiàn)0.5ppm精度的線性測(cè)量;結(jié)合相應(yīng)鏡組還能實(shí)現(xiàn)角度、直線度(平行度)、平面度、垂直度、回轉(zhuǎn)軸等參數(shù)的測(cè)量,并進(jìn)行動(dòng)態(tài)分析。
SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品具有測(cè)量精度高、測(cè)量速度快、測(cè)量范圍大、分辨力高等優(yōu)點(diǎn)。通過(guò)與不同的光學(xué)組件結(jié)合,可以實(shí)現(xiàn)對(duì)線性、角度、平面度、直線度(平行度)、垂直度、回轉(zhuǎn)軸等參數(shù)的精密測(cè)量,并能對(duì)設(shè)備進(jìn)行速度、加速度、頻率-振幅、時(shí)間-位移等動(dòng)態(tài)性能分析。
在相關(guān)軟件的配合下,可自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償方案,為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)。
工作原理
激光器發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡,然后分成兩道光束,一道光束(參考光束)射向連接分光鏡的反射鏡,而第二道透射光束(測(cè)量光束)則通過(guò)分光鏡射入第二個(gè)反射鏡,這兩道光束再反射回到分光鏡,重新匯聚之后返回激光器,其中會(huì)有一個(gè)探測(cè)器監(jiān)控兩道光束之間的干涉(見(jiàn)圖)。若光程差沒(méi)有變化時(shí),探測(cè)器會(huì)在相長(zhǎng)性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號(hào)。
若光程差有變化時(shí),探測(cè)器會(huì)在每一次光程變化時(shí),在相長(zhǎng)性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號(hào),這些變化會(huì)被計(jì)算并用來(lái)測(cè)量?jī)蓚€(gè)光程之間的差異變化。
功能特點(diǎn)
測(cè)量精度高:以激光干涉技術(shù)為核心,分辨力可達(dá)納米級(jí);采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊,解決了溫度、空氣壓力、相對(duì)濕度、材料溫度等環(huán)境因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響;使用激光熱穩(wěn)頻控制系統(tǒng),保證激光長(zhǎng)期穩(wěn)頻精度;干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì),避免干涉鏡受熱變形,保證干涉光路穩(wěn)定。
具有實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、回轉(zhuǎn)軸等幾何量的檢測(cè)功能。可以檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等;同時(shí)也能檢測(cè)運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度;并可以校準(zhǔn)機(jī)床的回轉(zhuǎn)軸。
可根據(jù)用戶(hù)設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表,為機(jī)床誤差修正的提供依據(jù)。
具有動(dòng)態(tài)測(cè)量(位移-時(shí)間曲線、速度-時(shí)間曲線、加速度-時(shí)間曲線) 及測(cè)量振幅和頻率分析的功能,可進(jìn)行機(jī)床振動(dòng)測(cè)量與分析,滾珠絲桿的動(dòng)態(tài)特性分析,驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。
內(nèi)置國(guó)內(nèi)外通用的標(biāo)準(zhǔn),含國(guó)標(biāo)(GB) 、ISO(國(guó)際) 、BS(英制) 、美標(biāo)、DIN(德標(biāo)) 、JIS(日標(biāo))共10份 。可依據(jù)各種不同的機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)分析處理數(shù)據(jù),并可打印相應(yīng)的曲線圖和數(shù)據(jù)報(bào)告。
可自動(dòng)監(jiān)測(cè)環(huán)境溫度、材料溫度、環(huán)境濕度和大氣壓力的參數(shù)。可選擇手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。
測(cè)量記錄采用集中式數(shù)據(jù)庫(kù)管理,可按被測(cè)件類(lèi)型、生產(chǎn)單位、出廠編號(hào)、檢定員、送檢單位、設(shè)備編號(hào)、檢定日期和有效日期等查詢(xún)和管理檢定記錄;可將檢定數(shù)據(jù)輸出到Word、Excel文檔。
安裝方便:基本重量為15kg,簡(jiǎn)單便攜。
懇請(qǐng)注意:因市場(chǎng)發(fā)展和產(chǎn)品開(kāi)發(fā)的需要,本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會(huì)根據(jù)實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請(qǐng)諒解。
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